3月5日消息,Intel發(fā)布了一條特殊的開(kāi)箱視頻,堪稱(chēng)史上最貴:他們從ASML拿到的全球第一臺高NA EUV光刻機,已經(jīng)開(kāi)始在美國俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠(chǎng)內安裝了。
這臺型號為T(mén)winscan EXE:5000的光刻機著(zhù)實(shí)是個(gè)龐然大物,運輸過(guò)程中動(dòng)用了250個(gè)貨箱,總重約150噸,先用飛機從荷蘭運到俄勒岡州波特蘭,再用卡車(chē)分批次拉到工廠(chǎng)。
目前安裝的還只是核心組件,全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程師,耗時(shí)約6個(gè)月,然后還得花時(shí)間調試。
這臺光刻機主要作為研究之用,將會(huì )在Intel 18A節點(diǎn)上進(jìn)行測試,但大規模量產(chǎn)得等到剛剛宣布的Intel 14A節點(diǎn)上,時(shí)間預計2025-2026年左右 。
該光刻機可以實(shí)現8nm的分辨率,而現有低NA光刻機單次曝光只能做到13nm,同時(shí)晶體管密度幾乎可以增加3倍。
大家非常關(guān)心的價(jià)格上,ASML的說(shuō)法是大約3.8億美元,但這只是起步價(jià),更高配置自然更貴,Intel CEO帕特·基辛格透露在4億美元左右,也就是逼近29億元。
相比之下,低NA EUV光刻機約為1.83億美元。
除了Intel,三星、臺積電、SK海力士也都訂購了高NA EUV光刻機,首批訂單有數十臺。
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